Präzisions-Messtechnik-Komponenten der SwissOptic

Optikmodule für die Halbleiterindustrie. Feinste Strukturen auflösen.

Der Trend zu immer kleineren Strukturen auf den Halbleiterchips ist ungebrochen. Zur Inspektion werden heute optische Instrumente im DUV-Bereich (< 300 nm) eingesetzt.

Mit unserer hochmodernen Fertigung in Heerbrugg werden wir den steigenden Anforderungen in der Halbleiterindustrie gerecht:

Wir betreiben Reinräume der Klasse ISO 5 (100) mit sehr reinen Arbeitszonen unter Flow-Boxen. Speziell für die Fertigung und Montage von 193 nm-Optiken verfügen wir über Reinräume mit VOC (volatile organic compounds) kontrollierter Luft, wobei die VOC-Anteile auf unter 2 ng/l (Nanogramm pro Liter) herausgefiltert werden.

Kunden­spezifische Module für die Masken- und Wafer­inspektion

Ein Großteil der produzierten Masken, die zur Belichtung von Wafern eingesetzt werden, sind mindestens einmal in ihrem Leben durch die höchauflösenden und hochgenauen Optiken der SwissOptic inspiziert worden.

Unser Beitrag zu Ihrem Erfolg:

  • Kundenspezifische Entwicklung (Optik und Mechanik) sowie kostenoptimierte Fertigung und Montage
  • Speziell entwickelte Messtechniken zur Qualifizierung kompletter Module
  • Langjährige Erfahrung in der Reinraummontage von opto-mechanischen Modulen für die Halbleiterindustrie
  • Hochspezialisiertes Personal
Optische Baugruppe für die Maskeninspektion in der Halbleiterindustrie

Optische Baugruppe für die Maskeninspektion

Weitere Spezifikationen entnehmen Sie bitte unserem Technischen Datenblatt:

Customized Modules (english file).

Kunden­spezifische Objektive für High-End-Anwendungen

Die Objektive von SwissOptic leisten einen wesentlichen Beitrag zur hohen Performance von Messgeräten. Dabei decken sie einen Wellenlängenbereich von 193 nm bis 1.300 nm ab.

Unser Beitrag zu Ihrem Erfolg:

  • Kundenspezifische Entwicklung (Optik und Mechanik) sowie kostenoptimierte Fertigung und Montage
  • Ausgereifte Konzepte in der Fassungstechnik, Zentrierung und Justagetechnik zur Erreichung von Wellenfronten der gesamten Baugruppe von unter λ 0.04 RMS (λ working wavelength)
  • Langjährige Erfahrung in der Reinraummontage von high-end Objektiven für die Halbleiterindustrie
  • Beugungsbegrenzte Objektive
  • Speziell entwickelte Messtechniken zur Qualifizierung kompletter Objektive
  • Hochspezialisiertes Personal
  • One stop shop (Entwicklung/Fertigung/Montage und Qualifizierung)
Kundenspezifisches DUV-Objektiv für die Halbleiterindustrie

Kundenspezifisches DUV-Objektiv

Weitere Spezifikationen entnehmen Sie bitte unserem Technischen Datenblatt:

Customized Lenses (english file).

Spezial-Optiken für die Halb­leiter­industrie

Am Standort Heerbrugg beherrschen wir insbesondere die Herstellung von Verzögerungsplatten im DUV-Bereich mit einer Genauigkeit von bis zu λ 1/100. Weitere Präzisionskomponenten in unserem Portfolio sind optisch-kontaktierte Strahlteiler, optische Tunnel zur Strahlhomogenisierung sowie komplexe, optisch kontaktierte Spiegelsysteme.

Unser Beitrag zu Ihrem Erfolg:

  • Spezifisches Design- und Produktions-Know-how
    • Linsen und Prismen mit Formgenauigkeiten von unter λ/100
    • Strahlteiler und Spiegel
    • Asphären
    • Mikrorauhheiten von unter 0,3 nm (3A)
    • Beschichtungen mit hoher Zerstörungsschwelle (193 nm bis IR)
    • Breitbandbeschichtungen
    • Polarisationsoptik
  • Speziell entwickelte DUV-Messtechnik
Kundenspezifische Module für die Maskeninspektion

Kundenspezifische Module für die Maskeninspektion

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Christian Schmitt
Halbleiterindustrie
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Asphären und Freiformoptiken

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SwissOptic AG
Heinrich-Wild-Strasse
9435 Heerbrugg, Schweiz

Tel. +41 71 727-3074
swissoptic [at] swissoptic.com

 

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