assembly and measurements in clean room conditions in Heerbrugg, Switzerland

Optikmodule für die Halbleiterindustrie.

Feinste Strukturen auflösen.

Der Trend zu immer kleineren Strukturen auf den Halbleiterchips ist ungebrochen. Zur Inspektion werden heute optische Instrumente im DUV-Bereich (< 300 nm) eingesetzt.

 

Mit unserer hochmodernen Fertigung in Heerbrugg werden wir den steigenden Anforderungen in der Halbleiterindustrie gerecht:

 

Wir betreiben Reinräume der Klasse ISO 5 (100) mit sehr reinen Arbeitszonen unter Flow-Boxen. Speziell für die Fertigung und Montage von 193 nm-Optiken verfügen wir über Reinräume mit VOC (volotile organic compounds) kontrollierter Luft, wobei die VOC-Anteile auf unter 2 ng/l (Nanogramm pro Liter) herausgefiltert werden.

Produktbeispiele

Kundenspezifische Module für die Masken- und Waferinspektion

Ein Großteil der produzierten Masken, die zur Belichtung von Wafern eingesetzt werden, sind mindestens einmal in ihrem Leben durch die höchauflösenden und hochgenauen Optiken der SwissOptic inspiziert worden.

Unser Beitrag zu Ihrem Erfolg:

  • Kundenspezifische Entwicklung (Optik und Mechanik) sowie kostenoptimierte Fertigung und Montage
  • Speziell entwickelte Messtechniken zur Qualifizierung kompletter Module
  • Langjährige Erfahrung in der Reinraummontage von opto-mechanischen Modulen für die Halbleiterindustrie
  • Hochspezialisiertes Personal

Optical assembly for mask inspection by SwissOptic AG, Heerbrugg

Optische Baugruppe für die Maskeninspektion
 

 

Weitere Spezifikationen entnehmen Sie bitte unserem Technischen Datenblatt:

 

Customized Modules (english file).

Kundenspezifische Objektive für High-End-Anwendungen

Die Objektive von SwissOptic leisten einen wesentlichen Beitrag zur hohen Performance von Messgeräten. Dabei decken sie einen Wellenlängenbereich von 193 nm bis 1.300 nm ab.

Unser Beitrag zu Ihrem Erfolg:

  • Kundenspezifische Entwicklung (Optik und Mechanik) sowie kostenoptimierte Fertigung und Montage
  • Ausgereifte Konzepte in der Fassungstechnik, Zentrierung und Justagetechnik zur Erreichung von Wellenfronten der gesamten Baugruppe von unter λ 0.04 RMS (λ working wavelength)
  • Langjährige Erfahrung in der Reinraummontage von high-end Objektiven für die Halbleiterindustrie
  • Beugungsbegrenzte Objektive
  • Speziell entwickelte Messtechniken zur Qualifizierung kompletter Objektive
  • Hochspezialisiertes Personal
  • One stop shop (Entwicklung/Fertigung/Montage und Qualifizierung)

Customized DUV Lens by SwissOptic AG, Heerbrugg

Kundenspezifisches DUV-Objektiv
 

 

Weitere Spezifikationen entnehmen Sie bitte unserem Technischen Datenblatt:

 

Customized Lenses (english file).

Spezial-Optiken für die Halbleiterindustrie

Am Standort Heerbrugg beherrschen wir insbesondere die Herstellung von Verzögerungsplatten im DUV-Bereich mit einer Genauigkeit von bis zu λ 1/100. Weitere Präzisionskomponenten in unserem Portfolio sind optisch-kontaktierte Strahlteiler, optische Tunnel zur Strahlhomogenisierung sowie komplexe, optisch kontaktierte Spiegelsysteme.

Unser Beitrag zu Ihrem Erfolg:

  • Spezifisches Design- und Produktions-Know-how
    • Linsen und Prismen mit Formgenauigkeiten von unter λ/100
    • Strahlteiler und Spiegel
    • Asphären
    • Mikrorauhheiten von unter 0,3 nm (3A)
    • Beschichtungen mit hoher Zerstörungsschwelle (193 nm bis IR)
    • Breitbandbeschichtungen
    • Polarisationsoptik
  • Speziell entwickelte DUV-Messtechnik

Qualification of DUV components @ SwissOptic AG in Heerbrugg

Qualifikation von DUV-Bauteilen

Ihr Fachkontakt

Wählen Sie Ihren Ansprechpartner, fragen Sie per Kontaktformular direkt bei uns an oder lassen Sie sich von uns zurückrufen.

Halbleiterindustrie
Christian Schmitt
Tel. +41 71 727-4790
christian.schmitt [at] swissoptic.com

Lassen Sie sich von uns anrufen:

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Downloads

technical data customized lenses for high-end applications in semiconductor manufacturing
Datenblatt

Customized Lenses (english file)

(390 KB)

technical data customized modules for wafer inspection
Datenblatt

Customized Modules (english file)

(315 KB)

Asphären und Freiformoptiken
Datenblatt

Asphären und Freiformoptiken

(292 KB)