System-Messtechnik. Für Prototypenbau und Fertigung.

Unsere Kompetenz in der Messtechnik und das umfangreiche Equipment stellen sicher, dass unsere optischen Komponenten, Baugruppen und Systeme Ihre Anforderung erfüllen. Für individuelle Ansprüche entwickeln wir komplette Messaufbauten mit entsprechender Software, um kundenspezifische Parameter auswerten zu können.

Unser Motto lautet: Was wir fertigen, messen wir auch. Unten finden Sie weitere Details zu unseren eingesetzten Messtechniken.

Wellenfrontmessung

Für die Messung der Wellenfrontdeformationen in Reflexion und Transmission stehen Interferometer höchster Genauigkeit (bis λ/100 WF PV) zur Verfügung. Unsere langjährige Erfahrung in der Messtechnik erlaubt es uns zudem, bestehende Messmittel optimal auf Produktanforderungen anzupassen. So können beispielsweise Messungen in entsprechenden Einbaulagen, unter Reinraumbedingungen und in Klimakammern vorgenommen werden. Die Zwischenprüfung während der Herstellung wird durch zahlreiche Werkstattinterferometer gewährleistet:

Phasenschiebende Fizeau-Interferometer
Interferometer mit kurzer Kohärenzlänge für mehrschichtige Glaslagen
Interferometer mit CGH-Wellenfrontformung für Asphären
Axial-Stitching Interferometer für rotationssymmetrische Asphären
Infrarot-Interferometer, 3,4 µm
Shack-Hartmann Wellenfront Sensoren für Wellenlängen von 350 bis 1.064 nm und Strahldurchmesser bis 15 mm
Fizeau Interferometer auf einer optischen Bank zur Messung grosser Sphären mittels Stitching

Messtechnik für den Prototypenbau und die Fertigung

Breite Palette von optischen Messeinrichtungen

Maß, Form- und Lagemessung

Wir verfügen über verschiedene 3-D-Messgeräte:

Taktile 3-D-Messtechnik
DEA Global	DMP 7-10-7 (x-y-z: 700 mm/1000 mm/700 mm) Messunsicherheit 1,5 + L/333
Brown & Sharpe	PFX 4-5-4 (x-y-z: 400 mm/500 mm/400 mm) Messunsicherheit 3,0 + 4,5xL/1000

Winkelmessung an optischen Bauelementen

Für die Vermessung von Plan- und Keilplatten, Prismen und Polygonen verwenden wir Goniometer mit Winkelauflösungen von 1 Bogensekunde.

Mikrorauheit

Für Messungen der Mikrorauheit stehen uns mehrere Weißlichtinterferometer mit unterschiedlicher Ausstattung zur Verfügung. Neben der Mikrorauheit sind wir in der Lage, mit den Instrumenten Stufenhöhen zu vermessen.

Vertikale Auflösung bis ca. 0,1 nm (für Ra < 10 nm)
Laterale Auflösung bis 0,64 µm, NA bis 0,55 µm
Bildfelder bis (7,07 x 5,30) mm

Spektrale Reflexions- und Transmissionsmessung

Bei uns im Einsatz sind Spektralphotometer verschiedener Hersteller:

Lambda 900 und Lambda 1050 sowie Carry 7000 UMS
Spektralbereich: 200-2.500 nm

Transmission	Oberfläche plan T = 0…100 % AOI: 0…85° für t < 1 mm
Reflexion	Oberfläche plan R = 0…100 % AOI: 10…85° (großes AOI = großes Substrat)

Abbildungsleistung

Modulations-Transfer-Funktion (MTF)

Für die Messung der Abbildungsqualität steht eine große MTF-Anlage mit einer maximalen Apertur von 200 mm zur Verfügung. Neben der MTF-Messung können weitere Kenngrössen wie Verzeichnung, Bildfeldwölbung und die Brennweite für Feldwinkel > 90° gemessen werden. Objekt- und Bildlagen sind in weiten Bereichen von endlich bis unendlich einstellbar.